Classone是致力于單片電鍍設(shè)備的世界知名設(shè)備提供商, 產(chǎn)品涵蓋2”~ 8”主流電鍍工藝,廣泛應(yīng)用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產(chǎn)業(yè),以及MEMS和Si基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。





Classone是致力于單片電鍍設(shè)備的世界知名設(shè)備提供商, 產(chǎn)品涵蓋2”~ 8”主流電鍍工藝,廣泛應(yīng)用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產(chǎn)業(yè),以及MEMS和Si基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

配置:2”~8” 手動2腔 / 全自動4腔(片盒對片盒) / 全自動8腔(片盒對片盒)
領(lǐng)域 :三五族(GaAs / SiC),GaN功率及射頻器件、VCSELs的器件等化合物產(chǎn)業(yè)及MEMS和Si基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等
制程 : 單片金屬電鍍包含,Au,Cu,Ni,Sn,Ag, In,SnAg等金屬
Classone公司有多年研發(fā)及制造單片電鍍設(shè)備的技術(shù)經(jīng)驗,團隊的主要技術(shù)人員來自某12寸單片電鍍設(shè)備的廠家。
Classone設(shè)備具有高穩(wěn)定性與高可靠度
Classone有的軟硬件設(shè)計及完善QC系統(tǒng)
Classone設(shè)備配置靈活,包含手動、半自動、全自動4腔或者8腔(片盒對片盒)型號滿足實驗室研發(fā)及量產(chǎn)客戶需求
Classone單片電鍍設(shè)備在化合物半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)高占有率:目前世界范圍內(nèi)裝機數(shù)量超過100臺
Classone電鍍設(shè)備主要技術(shù)優(yōu)勢:
單片的face-down電鍍方式
接觸樣片的電極和密封環(huán)的分體設(shè)計,防止密封環(huán)釋放的時候黏連樣片造成碎片
流場通過diffuser的過濾,確保接觸樣片的區(qū)域佳的電鍍液濃度均勻性
Au電鍍利用獨特的硬件設(shè)計,防止電鍍頭旋轉(zhuǎn)造成的電鍍圖形表面斜面的缺陷;
Cu電鍍,電鍍液和添加劑的單向通道設(shè)計,防止設(shè)備的陽極燒添加劑,節(jié)省添加劑成本超過90%;
對高深寬比的圖形側(cè)壁電鍍均勻性極佳。
三五族化合物半導(dǎo)體(GaAs / SiC,GaN功率及射頻器件)
MEMS微機電
濾波器器件
石英基底的光通訊器件
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Au材料孔的側(cè)壁及底面電鍍
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Cu材料孔的填充
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SnAg/Cu的多層電鍍